EUV

极紫外光刻（Extreme Ultra-violet），常称作EUV光刻，它以波长为10-14纳米的极紫外光作为光源的光刻技术。具体为采用波长为13.4nm 的紫外线。极紫外线就是指需要通过通电激发紫外线管的K极然后放射出紫外线。

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国产量检测要开始用EUV了

谈及EUV，大部分人首先想到的是光刻机。但实际上在量检测领域，也开始逐渐引入EUV了。光刻波长从193 nm到13.5 nm剧烈变化，使得EUV光刻工艺需要全新的元器件和材料，这意味着需要在工作波长（

EUV 2026-08-26
ASML有点慌：中国的收入又降了，只占14%，EUV也不畅销了

ASML正式发布了2026年二季度报表。总的来讲，表现还是不错的，总营收高达93.3 亿欧元，环比增长6.0%，同比增长21.3%，更是超过了市场预期，也超过了公司之前的预计。毛利率高达54%，净

芯片台积电中芯国际 7nm 光刻机 2026-07-15
绕过顶级EUV, 晶圆一哥的底牌终于摊开

当半导体行业掀起High-NA EUV光刻机抢购热潮时，台积电似乎并没有这项计划，甚至表示：直至 2029 年的全系列规划节点，涵盖 A12、A13 等核心制程，均不纳入High-NA EUV设备的应

半导体台积电 2026-05-06
美媒：中国造出EUV光刻原型机，但芯片量产是10年后的事

美国科技媒体Tom’s Hardware最新报道称，中国正在建设EUV光刻系统的原型机，预计2030年左右制造原型芯片。这一消息得到前ASML员工参与项目的佐证，但关于中国设备的具体进展细节仍处于高度

EUV 2025-12-23