在电子工业中，电子级四甲氧基硅烷利用化学气相沉积法（CVD）可以用来制备硅基薄膜，应用于半导体器件生产中；

电子级四甲氧基硅烷，外观为无色透明液体状，是纯度≥99.5%、主要应用于电子工业中的四甲氧基硅烷产品，其中的高端产品纯度≥99.9999%。

四甲氧基硅烷，也称硅酸四甲酯、正硅酸甲酯，英文简称TMOS，分子式C4H12O4Si，一种有特殊气味的液体，有毒性，有腐蚀性，熔点-4℃，沸点121℃，闪点29℃，不溶于水，遇水可水解，可与多种有机溶剂混溶，易燃烧，主要用来合成有机硅，以及制备涂料、粘合剂等。

根据新思界产业研究中心发布的《2025年中国电子级四甲氧基硅烷市场专项调研及企业“十五五规划”建议报告》显示，电子级四甲氧基硅烷产品纯度高、杂质含量低、热稳定性好、化学稳定性好、电绝缘性好。在电子工业中，电子级四甲氧基硅烷利用化学气相沉积法（CVD）可以用来制备硅基薄膜，应用于半导体器件生产中；可以水解形成二氧化硅研磨粒子，具有良好的分散性、选择性，能够制备CMP研磨料，用于硅片、二氧化硅层间介质抛光方面；可用作封装材料，凭借良好密封性与绝缘性，能够形成绝缘保护层，以确保集成电路的运行稳定性。

与电子级四乙氧基硅烷（电子级正硅酸乙酯）相比，电子级四甲氧基硅烷的二氧化硅含量更高，且价格较低，在用作二氧化硅研磨粒子时成本更低。

工业上，四甲氧基硅烷的制备方法主要是：以四氯化硅、甲醇为原料进行反应得到；以硅粉、甲醇为原料，在铜催化剂作用下反应得到。湖北新蓝天新材料股份有限公司是我国代表性电子级四甲氧基硅烷生产企业之一，其利用硅粉与甲醇的直接反应法来制备四甲氧基硅烷，再经多级提纯获得电子级四甲氧基硅烷。

新思界行业分析人士表示，湖北新蓝天新材料股份有限公司可以提供有效含量≥99.5%的电子级四甲氧基硅烷产品，公司于2021年实现电子级四甲氧基硅烷商业化生产，目前已与国内多家湿电子化学品厂商建立合作关系，能够提供6N级电子级四甲氧基硅烷。2023年初，湖北硅元新材料科技有限公司开工建设年产32000吨医用有机硅项目，其中包括2000吨/年的电子级四甲氧基硅烷产能。

我国四甲氧基硅烷生产企业数量较多，但电子级四甲氧基硅烷生产企业数量少。我国半导体、集成电路产业发展迅猛，在国际贸易保护主义抬头背景下，国内必须完善湿电子化学品产业链，这利好我国电子级四甲氧基硅烷行业发展。

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       原文标题 : 【聚焦】我国半导体集成电路产业规模扩大 利好电子级四甲氧基硅烷行业发展